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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Siteplutao.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
IdentificadorJ8LNKAN8RW/3AFLGS9
Repositóriodpi.inpe.br/plutao/2011/09.22.19.47.13   (acesso restrito)
Última Atualização2011:10.20.12.00.36 (UTC) marciana
Repositório de Metadadosdpi.inpe.br/plutao/2011/09.22.19.47.14
Última Atualização dos Metadados2024:05.17.11.37.56 (UTC) marciana
DOI10.1088/0268-1242/26/10/105003
ISSN0268-1242
Rótulolattes: 3801575713681461 6 ZiminGoAmZoAbRa:2011:SpRaOf
Chave de CitaçãoZiminGoAmZoAbRa:2011:SpRaLe
TítuloSputtering rates of lead chalcogenide-based ternary solid solutions during inductively coupled argon plasma treatment
Ano2011
MêsAug.
Data de Acesso18 maio 2024
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho307 KiB
2. Contextualização
Autor1 Zimin, S P
2 Gorlachev, E S
3 Amirov, I I
4 Zogg, H
5 Abramof, Eduardo
6 Rappl, Paulo Henrique de Oliveira
Identificador de Curriculo1
2
3
4
5
6 8JMKD3MGP5W/3C9JJ37
Grupo1
2
3
4
5 LAS-CTE-INPE-MCT-BR
6 LAS-CTE-INPE-MCT-BR
Afiliação1 Microelectronics Department, Yaroslavl State University, Sovetskaya Street 14, Yaroslavl 150000, Russia
2 Microelectronics Department, Yaroslavl State University, Sovetskaya Street 14, Yaroslavl 150000, Russia
3 Yaroslavl Branch of the Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Universitetskaya Street 21, Yaroslavl 150007, Russia
4 Thin Film Physics Group, Laboratory for Solid State Physics, Swiss Federal Institute of Technology, ETH Technopark, CH-8005, Zurich, Switzerland
5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
6 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1
2
3
4
5
6 rappl@las.inpe.br
Endereço de e-Mailrappl@las.inpe.br
RevistaSemiconductor Science and Technology
Volume26
Número10
Páginas105003
Nota SecundáriaB2_ASTRONOMIA_/_FÍSICA B1_ENGENHARIAS_II A2_ENGENHARIAS_III A1_ENGENHARIAS_IV B2_MATERIAIS
Histórico (UTC)2011-09-23 14:11:21 :: lattes -> secretaria.cpa@dir.inpe.br :: 2011
2011-10-20 12:01:53 :: secretaria.cpa@dir.inpe.br -> administrator :: 2011
2018-06-05 00:01:30 :: administrator -> marciana :: 2011
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Tipo de Versãopublisher
Palavras-ChaveProcesso de Sputtering em calcogenetos de chumbo
ResumoIn this work investigations of sputtering of monocrystalline (1 1 1)-oriented epitaxial films of semiconductor ternary solid solutions of Pb1−xSnxTe (x = 0.000.56), Pb1−xEuxTe (x = 0.000.05), Pb1−xSnxSe (x = 0.000.07), Pb1−xEuxSe (x = 0.000.16, x = 1.00), Pb1−xSnxS (x = 0.000.05) on Si(1 1 1) and BaF2(1 1 1) substrates in RF high-density low-pressure inductively coupled argon plasma were carried out. It is determined that sputtering rates for the studied materials retain high values typical for binary solutions PbTe, PbSe, PbS. The results indicate the interrelation of the sputtering rates of ternary compounds and of the sublimation energy of binary compounds that constitute a solid solution. The physical model of this characteristic property of lead chalcogenide-based ternary alloys based on the expansion of a classic Sigmund solid sputtering theory explaining the observed sputtering rate behavior with the alloy composition variation is proposed.
ÁreaFISMAT
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4. Condições de acesso e uso
Idiomaen
Arquivo Alvo0268-1242_26_10_105003.pdf
Grupo de Usuáriosadministrator
lattes
secretaria.cpa@dir.inpe.br
Grupo de Leitoresadministrator
marciana
Visibilidadeshown
Política de Arquivamentodenypublisher denyfinaldraft12
Permissão de Leituradeny from all and allow from 150.163
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
DivulgaçãoWEBSCI; COMPENDEX.
Acervo Hospedeirodpi.inpe.br/plutao@80/2008/08.19.15.01
6. Notas
NotasSetores de Atividade: Atividades profissionais, científicas e técnicas, Pesquisa e desenvolvimento científico.
Campos Vaziosalternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel format isbn lineage mark mirrorrepository nextedition orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url
7. Controle da descrição
e-Mail (login)marciana
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